[发明专利]一种长腔长微机电可调谐法布里－珀罗滤波器

摘要

本发明提供一种长腔长微机电可调谐法布里－珀罗滤波器，滤波器的上基板由双面腐蚀后截面呈“W”形的体硅及其下表面的浓硼掺杂层构成，“W”形体硅上表面以透明薄膜作为支撑膜，其上的反射膜作为法布里－珀罗滤波器的前腔镜，“W”形体硅下表面不同区域的浓硼掺杂层可分别作为悬臂梁和上电极。滤波器的下基板由石英玻璃构成，其上表面与前腔镜和上电极对应的区域分别制作有后腔镜和下电极，下表面与后腔镜对应的区域刻有衍射光栅。该微机电滤波器可方便获得200μm以上的初始腔长，能在不同方向上实现单一波长的滤波，具有窄半峰全宽和宽自由光谱范围的优点，在光通讯，光信息读取，激光技术等领域中有广泛的应用前景。

主权项

一种长腔长微机电可调谐法布里‑珀罗滤波器，其特征在于，包括：－双面腐蚀后截面呈“W”形的体硅及其下表面的浓硼掺杂层，所述体硅及其下表面的浓硼掺杂层作为滤波器的上基板；－前腔镜支撑膜，所述前腔镜支撑膜位于“W”形体硅上表面四周镂空区域以内的所有区域；－前腔镜，所述前腔镜位于支撑膜的上表面；－悬臂梁，所述悬臂梁即为“W”形体硅四周镂空区域下方的浓硼掺杂层；－上电极，所述上电极即为“W”形体硅中央镂空区域与四周镂空区域之间体硅下表面的浓硼掺杂层；－石英基底，所述石英基底作为滤波器的下基板；－后腔镜，所述后腔镜位于石英基底上表面与前腔镜相对应的区域；－光栅，所述光栅位于石英基底下表面与后腔镜相对应的区域；－下电极，所述下电极位于石英基底上表面与上电极相对应的区域。