[发明专利]一种同轴微波等离子体沉积薄膜的设备

摘要

一种同轴微波等离子体沉积薄膜的设备，属于等离子技术领域，该设备包括真空腔室，真空腔室上固定安装有同轴微波等离子体源，包括微波发生器、波导、同轴线变换器、石英管和内电极，其中，石英管位于真空腔室内部且固定安装于真空腔室两侧壁上，同轴线变换器通过真空腔室外侧壁同轴对称固定安装于石英管两端，同时同轴线变换器通过波导与微波发生器相连，内电极穿过石英管并固定在同轴线变换器上，内电极、同轴线变换器、石英管三者同轴，设备中还设置了等离子体的电子密度和电子温度测试的仪器，以及功率和气压自动控制设备和系统，可以获得稳定的、可控性强的等离子体，可实现高效、稳定、均匀的沉积薄膜，该设备生产效率高，生产成本低。

主权项

一种同轴微波等离子体沉积薄膜的设备，包括真空腔室(10)，其特征在于，所述真空腔室上固定安装有同轴微波等离子体源，所述同轴微波等离子体源包括微波发生器(1)、波导(2)、同轴线变换器(3)、石英管(4)和内电极(7)，其中，石英管(4)位于真空腔室(10)内部且固定安装于真空腔室两侧壁上，同轴线变换器(3)通过真空腔室外侧壁同轴对称固定安装于石英管(4)两端，同时同轴线变换器(3)通过波导(2)与微波发生器(1)相连，内电极(7)穿过石英管并固定在同轴线变换器上，内电极(7)、同轴线变换器(3)、石英管(4)三者同轴，真空腔室顶部设置有进气管(6)；真空腔室底部、顶部或侧部的至少一个位置上活动安装有支撑台(11)，支撑台下端伸出真空腔室壁连接位置调节装置(16)，位置调节装置与位置控制装置(17)相连，支撑台上可拆卸的安装有试样台(18)，支撑台与试样台(18)之间设置有绝缘层(13)；真空腔室侧壁上固定安装有诊断测试装置(24)，等离子体探针(14)一端连接于诊断测试装置上，其另一端伸入真空腔室内部，真空腔室侧壁上还连接有真空管道(19)，真空装置(22)连接于真空管道之上，真空管道上安装有阀门控制装置(20)和气压测试仪(21)；反馈控制系统(25)分别与微波发生器(1)、诊断测试装置(24)、阀门控制装置(20)和气压测试仪(21)连接；所述真空腔室(10)和内电极(7)上设置有冷却水管道，且真空腔室壁上安装有腔室冷却水入口(23)和腔室冷却水出口(26)，内电极(7)壁上安装有内电极冷却水入口(8)和内电极冷却水出口(27)。