[发明专利]阻抗匹配系统

摘要

本发明提供了一种阻抗匹配系统，阻抗匹配系统设置在射频电源和反应腔室之间，用以实现射频电源的输出阻抗和其负载阻抗匹配，其检测装置包括阻抗检测芯片、电压采集模块和电流采集模块，电压采集模块和电流采集模块分别采集射频电源和反应腔室之间的传输线上的电压信号和电流信号，并将该电压信号和电流信号对应发送至阻抗检测芯片的电压输入端和电流输入端；阻抗检测芯片用于根据电压输入端和电流输入端输入的电压信号和电流信号，在其幅值输出端输出表示射频电源的当前负载阻抗的幅值的信号，以及在其相角输出端输出表示射频电源的当前负载阻抗的相角的信号。该系统，可以降低成本和匹配时间，还可提高匹配的可靠性和检测装置的通用性。

主权项

一种阻抗匹配系统，所述阻抗匹配系统设置在射频电源和反应腔室之间，用以实现所述射频电源的输出阻抗和其负载阻抗匹配，所述阻抗匹配系统包括检测装置，其特征在于，所述检测装置包括阻抗检测芯片、电压采集模块和电流采集模块，其中所述电压采集模块和所述电流采集模块用于分别采集所述射频电源和所述反应腔室之间的传输线上的电压信号和电流信号，并将该电压信号和电流信号对应发送至所述阻抗检测芯片的电压输入端和电流输入端；所述阻抗检测芯片用于根据电压输入端和电流输入端输入的电压信号和电流信号，在其幅值输出端输出表示所述射频电源的当前负载阻抗的幅值的信号，以及在其相角输出端输出表示所述射频电源的当前负载阻抗的相角的信号。