[发明专利]带扩张装置

摘要

本发明提供一种带扩张装置，其能够高效去除在通过带扩张而分割的被加工物的正面附着的异物。带扩张装置对带进行扩张，该带在正面贴附有被加工物且其外周贴附于环状框架上，其特征在于，具有：盒载置台，其载置有能够收容多个被加工物单元的盒，该被加工物单元以借助于带将被加工物支撑于环状框架上的方式构成；固定单元，其对从载置于该盒载置台上的盒中搬出的该被加工物单元的环状框架进行固定；带扩张单元，其对该固定单元固定了该环状框架的该被加工物单元的该带的被加工物的外周与该环状框架的内周之间进行按压并扩张该带；以及清洗单元，其向该被加工物单元的被加工物正面照射紫外线或等离子体来清洗被加工物的正面。

主权项

1.一种带扩张装置，其对带进行扩张，其中，该带的正面贴附有被加工物且外周贴附于环状框架上，该带扩张装置的特征在于，具有：盒载置台，其载置有能够收容多个被加工物单元的盒，其中，该多个被加工物单元分别以借助于带将被加工物支撑于环状框架上的方式构成；固定单元，其对从载置于该盒载置台上的盒中搬出的该被加工物单元的环状框架进行固定；带扩张单元，其对被该固定单元固定了该环状框架后的该被加工物单元的该带的、被加工物的外周与该环状框架的内周之间进行按压来扩张该带；以及清洗单元，其向通过该带扩张单元对该带进行扩张后的该被加工物单元的被加工物的正面照射对附着于该被加工物的正面的有机物进行去除的紫外线或等离子体，来清洗被加工物的正面。