[发明专利]一种移动式硅片退火设备在审
| 申请号： | 201410600248.1 | 申请日： | 2014-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN105543978A | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 王耀斌 | 申请（专利权）人： | 陕西盛迈石油有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安亿诺专利代理有限公司 61220 | 代理人： | 刘斌 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市高新*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体器件技术领域，具体涉及一种移动式硅片退火设备。一种移动式硅片退火设备，包括支撑台架、支撑台架上通过一主体移动结构安装有依次连接的箱门、加热系统、石英管、真空系统以及充气系统；另外，支撑台架上还设有一电控部分，电控部分与加热系统相连。本发明温度均匀性好、密封性好，并且一次性处理硅片数量多，对硅片零污染，解决了硅片退火处理工艺要求很高、普通设备无法满足的难题，提高了硅片制成品性能的一致性及可靠性，很大程度上提高了生产效率。设备在半导体材料制造、电子元器件封装领域均可以有很大的应用空间，经济效益显著。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 移动式 硅片 退火 设备 | ||
【主权项】：
一种移动式硅片退火设备，其特征在于：包括支撑台架（7）、支撑台架（7）上通过一主体移动结构（8）安装有依次连接的箱门（2）、加热系统（3）、石英管（4）、真空系统（5）以及充气系统（6）；另外，支撑台架（7）上还设有一电控部分（1），电控部分（1）与加热系统（3）相连。
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