[发明专利]切削装置

摘要

本发明提供切削装置。切削装置具有卡盘工作台，并吸引保持具有由彼此交叉的多个分割预定线划分出的多个区域的板状的被加工物，该卡盘工作台具有保持夹具、夹具基座以及节流板，其中，保持夹具具有：保持面，其保持被加工物；多个切削刀用退刀槽，它们形成在由该保持面保持的被加工物的该分割预定线对应的位置；以及多个吸引孔，它们在由该切削刀用退刀槽划分出的各区域中从该保持面向背面贯通而形成；夹具基座具有：载置面，其载置保持夹具；以及负压传递部，其与负压源连通，向该保持夹具的该吸引孔传递负压，节流板具有与保持面的吸引孔对应且孔径小于该吸引孔的多个节流孔，节流板以可拆装的方式配设在保持夹具的与负压传递部相对的背面。

主权项

1.一种切削装置，其具有：卡盘工作台，其吸引保持具有由彼此交叉的多个分割预定线划分出的多个区域的板状的被加工物；切削组件，其利用切削刀切削保持在该卡盘工作台上的被加工物，分割为多个芯片；以及切削液提供组件，其向该切削刀提供切削液，其特征在于，该卡盘工作台具有保持夹具、夹具基座以及节流板，其中，该保持夹具具有：保持面，其保持被加工物；多个切削刀用退刀槽，它们形成在与由该保持面保持的被加工物的该分割预定线对应的位置；以及多个吸引孔，它们在由该切削刀用退刀槽划分出的各区域中从该保持面向背面贯通而形成；该夹具基座具有：载置面，其载置该保持夹具；以及负压传递部，其与负压源连通，向该保持夹具的该吸引孔传递负压，该节流板具有与该保持面的该吸引孔一一对应地设置且孔径小于该吸引孔的多个节流孔，该节流板以能够拆装的方式配设在该保持夹具的与该负压传递部相对的背面，在所述夹具基座的所述负压传递部中开设有流体提供口，该流体提供口与提供流体的流体提供源连通，所述节流板中形成的所述节流孔的开口面积的合计被设定为小于该流体提供口的开口面积，在使被加工物从所述保持夹具脱离时，使流体经由所述节流板的所述节流孔而从该保持夹具的所述吸引孔喷出。