[发明专利]一种麦克风器件及其制作方法

摘要

本发明提供一种麦克风器件及其制作方法，包括步骤：1)提供一衬底，在所述衬底表面形成具有凹面的第一牺牲层；2)在所述第一牺牲层表面沉积形成凹形背板，刻蚀背板形成暴露所述第一牺牲层的开口；3)在所述背板表面以及开口中沉积第二牺牲层，并平坦化；4)在所述第二牺牲层表面沉积振动薄膜；5)刻蚀所述衬底，形成暴露所述第一牺牲层的背腔；6)通过所述开口，去除除边缘外的所述第一牺牲层和第二牺牲层，使所述背板和振动薄膜悬空。本发明通过将背板设置成凹形背板，当振动薄膜受到声压发生形变时，其形变灵敏度提高，从而进一步提高麦克风的声电转换性能。

主权项

1.一种麦克风器件的制作方法，其特征在于，所述麦克风器件的制作方法至少包括：1)提供一衬底，在所述衬底表面形成具有凹面的第一牺牲层；2)在所述第一牺牲层表面沉积形成凹形背板，刻蚀背板形成暴露所述第一牺牲层的开口；3)在所述背板表面以及开口中沉积第二牺牲层，并平坦化；4)在所述第二牺牲层表面沉积振动薄膜；5)刻蚀所述衬底，形成暴露所述第一牺牲层的背腔；6)通过所述开口，去除除边缘外的所述第一牺牲层和第二牺牲层，使所述背板和振动薄膜悬空；其中，所述步骤1)中形成具有凹面的第一牺牲层的步骤为：1‑1)在所述衬底表面依次沉积第一牺牲层材料和硬掩膜层，并在所述硬掩膜层上涂敷光刻胶，曝光显影，刻蚀未被光刻胶保护的硬掩膜层，形成第一槽口；1‑2)继续涂敷光刻胶并曝光显影，使光刻胶延伸至步骤1)中的部分槽口中，刻蚀未被光刻胶保护的第一槽口底部，形成第二槽口；1‑3)继续涂敷光刻胶并曝光显影，使光刻胶延伸至步骤2)中的部分槽口中，刻蚀未被光刻胶保护的第二槽口底部，形成第三槽口；1‑4)重复以上步骤，直至所述硬掩膜层形成两侧厚中间薄的阶梯状表面；1‑5)刻蚀去除硬掩膜层及部分第一牺牲层，形成具有凹面的第一牺牲层。