[发明专利]一种用于广义椭偏仪的光强自动调整装置及其控制方法

摘要

本发明公开了一种广义椭偏仪光强自动调整装置及其控制方法。装置主要包括计算机、光谱仪、伺服电机控制器、直流伺服电机、增量式编码器和中性密度滤光片转盘。在广义椭偏仪硬件连接完成的情况下，根据光谱仪采集的光谱曲线是否饱和以及是否绝大部分在光谱仪线性响应区间来决定是否要转动直流伺服电机，从而带动中性密度滤波片转盘转动以切换中性密度滤波片来改变光源照射出来的光强大小。本发明可以实现对双旋转补偿器广义椭偏仪光强自动调整，且响应快速，操作简单。

主权项

一种用于广义椭偏仪的光强自动调整装置，其特征在于，该装置包括计算机、光谱仪、伺服电机控制器、增量式编码器、直流伺服电机和中性密度滤光片转盘；增量式编码器设置在直流伺服电机内；中性密度滤光片转盘包括一个通光孔和多片透光率不同的中性密度滤光片；中性密度滤光片转盘可转动安装在直流伺服电机端面上；直流伺服电机通过伺服电机控制器与计算机相连；增量式编码器与伺服电机控制器相连；光谱仪通过USB端口与计算机相连接；计算机用于控制光谱仪的工作，通过伺服电机控制器控制直流伺服电机的运动；根据光谱仪采集到的光谱曲线是否饱和以及光谱曲线是否在光谱仪线性响应区间来决定是否要转动直流伺服电机，从而带动所述中性密度滤波片转盘转动以切换中性密度滤波片以改变光源照射出来的光强大小。