[发明专利]一种基于PID自整定的管式扩散炉温区自动校准工艺有效
| 申请号： | 201410592750.2 | 申请日： | 2014-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104391530B | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 金凌云;张志敏;康磊杰;高雪超;刘晓娜 | 申请（专利权）人： | 晶澳太阳能有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/32 | 分类号： | G05D23/32;H01L31/18 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司44104 | 代理人： | 李海波 |
| 地址： | 055550 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于PID自整定的管式扩散炉温区自动校准工艺，根据炉体中侧热电偶和控温热电偶检测到的温度，利用PID技术对管式扩散炉内温度进行自动校准，实现扩散工艺的温度稳定和温差自动补偿，具体过程包括以下步骤（1）温度T1的稳定阶段；（2）温度T1温差自动补偿阶段；其中温度T1的稳定阶段为恒温设置，温度T1与扩散温度T0的关系为T1=T0，T0为扩散工艺所需要的目标温度。本发明在自动运行工艺中实现了温区温度的自动校准，且可以在同一工艺运行中实现多个温区的校准，替代了手工操作，简化操作流程，提高设备和工艺的可靠性，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 pid 扩散 炉温 自动 校准 工艺 | ||
【主权项】：
一种基于PID 自整定的管式扩散炉温区自动校准工艺，其特征是：根据炉体中侧热电偶和控温热电偶检测到的温度，利用PID 技术对管式扩散炉内温度进行自动校准，实现扩散工艺的温度稳定和温差自动补偿，具体包括以下步骤：（1）温度T1 的稳定阶段；（2）温度T1 温差自动补偿阶段；（3）温度T2 的稳定阶段；（4）温度T2 温差自动补偿阶段；其中温度T1、T2 的关系为T1 ≠ T2，且温度T1、T2 与两温区扩散工艺所需要的目标温度T0’、T0’’的关系为T1=T0’，T2=T0”，温度T1 ＜温度T2；所述稳定阶段为恒温设置，温差自动补偿阶段是以扩散炉中的侧热电偶检测值作为反馈信号，通过侧热电偶检测温度与控制目标之间的温度差，进行温度补偿达到获得恒温区的控制目标。
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