[发明专利]隔膜真空泵

摘要

本发明提供一种能够提高连接于进气通路和排气通路的配管的配置的自由度并谋求提高进气侧止回阀和排气侧止回阀的组装性的隔膜真空泵。进气侧止回阀和排气侧止回阀分别由将阀芯(32f)收纳于壳构件(32a)而成的阀单元(32)形成。进气通路和排气通路均由在基端部设有大径安装部(31a)的喷嘴(31)形成，在大径安装部(31a)的基端部设有用于收纳阀单元(32)的收纳部(31b)。通过将阀单元(32)收纳于收纳部(31b)且将大径安装部(31a)分别插入到形成于泵室的插入孔中、并将压板(34)跨着大径安装部(31a)的外表面和泵室的顶壁的外表面地安装，从而将进气通路和排气通路固定于泵室。

主权项

1.一种隔膜真空泵，其包括：泵室，其通过隔膜的动作而扩大或缩小；与该泵室相连通的进气通路和排气通路；进气侧止回阀，其用于限制流体自所述泵室向所述进气通路逆流；以及排气侧止回阀，其用于限制流体自所述排气通路向所述泵室逆流，其特征在于，所述进气侧止回阀和所述排气侧止回阀分别由将阀芯收纳于壳构件而成的阀单元形成，所述进气通路和所述排气通路均由在基端部设有大径安装部的喷嘴形成，在所述大径安装部的基端部形成有用于隔着密封件收纳所述阀单元的收纳部，在所述泵室的与所述隔膜相对的顶壁上形成有在内部具有供所述大径安装部插入的插入孔的一对喷嘴安装部，并在所述顶壁上形成有将所述插入孔和所述泵室相连通的连通孔，将所述阀单元收纳于所述收纳部，将所述大径安装部分别插入到所述插入孔中，并将压板以能够装卸的方式跨着所述大径安装部和所述泵室的顶壁地安装，由此，将所述进气通路和所述排气通路固定于所述泵室，所述阀单元包括：壳构件，其为有底圆筒状且能够收纳于所述收纳部和插入部，该插入部分别形成于所述一对喷嘴安装部，所述进气侧止回阀或所述排气侧止回阀的隔膜侧插入该插入部；销构件，其自该壳构件的底部的内表面中心部突出；通孔，其形成于所述底部；环状突部，其为两个且分别形成于所述底部的内表面上的比所述通孔靠内周侧和比所述通孔靠外周侧的位置；阀芯，其被所述销构件贯穿且该阀芯的底面侧能够抵接于所述环状突部；以及止挡构件，其安装于所述销构件，用于将所述阀芯保持于所述销构件的基部，通过以使所述阀单元的所述底部朝向泵室侧的方式配置所述阀单元而形成所述排气侧止回阀，通过以使所述阀单元的开口部朝向泵室侧的方式配置所述阀单元而形成所述进气侧止回阀。