[发明专利]薄膜晶体管基板的制作方法

摘要

一种薄膜晶体管基板制作方法。该方法包括：提供基板，并在该基板上形成栅极；在该基板上依次形成覆盖该栅极的栅极绝缘层、金属氧化层及第一光阻层；图案化该第一光阻层以形成第一光阻图案；蚀刻未被该第一光阻图案覆盖的金属氧化物层以形成通道；去除该第一光阻图案两侧的部分以暴露出部分通道；形成覆盖该栅极绝缘层、通道以及第一光阻图案的金属层，并在该金属层上形成第二光阻层；图案化该第二光阻层以形成第二光阻图案；蚀刻未被该第二光阻图案覆盖的金属层以形成源极与漏极；以及去除该第一光阻图案与第二光阻图案。本发明所提供的薄膜晶体管基板制作方法能够在不使用蚀刻阻挡层的前提下保护通道不被损坏，从而形成理想的薄膜晶体管基板。

主权项

1.一种薄膜晶体管基板的制作方法，其特征在于，该方法包括：提供基板，并在该基板上形成栅极；在该基板上依次形成覆盖该栅极的栅极绝缘层、金属氧化层及第一光阻层；图案化该第一光阻层以形成第一光阻图案，该第一光阻图案的位置正对所述栅极；蚀刻未被该第一光阻图案覆盖的金属氧化物层以形成通道；去除该第一光阻图案两侧的部分以暴露出部分通道；形成覆盖该栅极绝缘层、通道以及第一光阻图案的金属层，并在该金属层上形成第二光阻层；图案化该第二光阻层以形成第二光阻图案，该第二光阻图案的位置与未形成有该第一光阻图案的位置相对应；蚀刻未被该第二光阻图案覆盖的金属层以形成源极与漏极；以及去除该第一光阻图案与第二光阻图案制得薄膜晶体管基板，且所述薄膜晶体管基板中该源极面向漏极的一侧与漏极面向源极的一侧出现锯齿状结构。