[发明专利]一种阵列基板及其制作方法、显示装置

摘要

本发明提供了一种阵列基板及其制作方法、显示装置，通过在阵列基板的基板之上，依次设置有源层、栅绝缘层以及栅电极层，所述有源层在水平方向上依次设置有第一重掺杂区、第一低掺杂区、第一非掺杂区、第二低掺杂区、第二非掺杂区、第三低掺杂区、第二重掺杂区。从而可在确保开口率的前提下，有效降低低温多晶硅薄膜晶体管的热量产生以及有效抑制多晶硅薄膜晶体管的漏电流。

主权项

1.一种阵列基板，其特征在于，包括：基板之上依次设置的有源层、栅绝缘层以及栅电极层，其中，所述有源层在水平方向上依次设置有第一重掺杂区、第一低掺杂区、第一非掺杂区、第二低掺杂区、第二非掺杂区、第三低掺杂区、第二重掺杂区；所述栅电极层的图案在阵列基板上的投影区域，覆盖于所述第一低掺杂区、第一非掺杂区、第二低掺杂区、第二非掺杂区、第三低掺杂区在阵列基板上的投影区域，不覆盖所述第一重掺杂区和所述第二重掺杂区在阵列基板上的投影区域。