[发明专利]用于单晶硅制备的钼导流筒在审
申请号: | 201410560296.2 | 申请日: | 2014-10-19 |
公开(公告)号: | CN104357896A | 公开(公告)日: | 2015-02-18 |
发明(设计)人: | 王东芹 | 申请(专利权)人: | 镇江大成新能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 212000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于单晶硅制备的钼导流筒,包括外导流筒、内导流筒和螺栓,其特征在于,所述外导流筒为石墨材料制成,外导流筒为法兰盘结构,外导流筒底面中心位置加工有锥孔,所述锥孔顶面加工有一圆形凸台,所述内导流筒套在外导流筒内孔里,内导流筒底面中心位置有一圆形凹槽,所述内导流筒凹槽卡在外导流筒凸台上,所述内导流筒为法兰盘结构,内导流筒法兰底面通过螺栓固定在外导流筒法兰顶面上,所述内导流筒为钼材料制成。本发明延长导流筒使用寿命,而且还减轻了操作强度,并且钼导流筒散热快,可以提高拉单晶的速度。 | ||
搜索关键词: | 用于 单晶硅 制备 导流 | ||
【主权项】:
用于单晶硅制备的钼导流筒,包括外导流筒(1)、内导流筒(2)和螺栓(3),其特征在于,所述外导流筒(1)为石墨材料制成,外导流筒(1)为法兰盘结构,外导流筒(1)底面中心位置加工有锥孔(101),所述锥孔(101)顶面加工有一圆形凸台(102),所述内导流筒(2)套在外导流筒(1)内孔里,内导流筒(2)底面中心位置有一圆形凹槽(201),所述内导流筒(2)凹槽(201)卡在外导流筒(1)凸台(102)上,所述内导流筒(2)为法兰盘结构,内导流筒(2)法兰底面通过螺栓固定在外导流筒(1)法兰顶面上,所述内导流筒(2)为钼材料制成。
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