[发明专利]一种具有纯化母液功能的双衬底槽液相外延石墨舟

摘要

本发明公开了一种具有纯化母液功能的双衬底槽液相外延石墨舟，该石墨舟包括盖板、母液槽、双衬底槽滑板和主体槽，在双衬底槽滑板上有两个相邻的衬底槽A和B，按滑板移动方向，前一个衬底槽A装牺牲片，后一个衬底槽B装生长片，牺牲片用于纯化母液，生长片用于生长外延薄膜。本发明的优点在于：这种独有的双衬底槽石墨舟通过牺牲片纯化母液的手段，将有效降低母液中杂质对外延薄膜的影响，从而达到降低外延薄膜中的载流子浓度，提高外延薄膜的电学性能的目的。

主权项

一种具有纯化母液功能的双衬底槽液相外延石墨舟，它包括盖板(1)、母液槽(2)、双衬底槽滑板(3)和底座(4)，其特征在于：所述的底座(4)是一种用以放置双衬底槽滑板和固定母液槽的平底“U”型槽；所述的双衬底槽滑板(3)在其滑板上有两个相邻的衬底槽，即用于放置牺牲片的衬底槽A(3.1)和用于放置外延生长片的衬底槽B(3.2)，按滑板移动方向，前一个为衬底槽A(3.1)，后一个为衬底槽B(3.2)，其相隔间距与母液槽(2)中相邻的两个液槽(2.1)的间距一致；所述的母液槽(2)是一块可以插入底座的长方体石墨块，其上开有n个矩形通槽即液槽，用以盛放母液，n由晶体生长所需的母液种类数决定；双衬底槽滑板(3)平放于底座(4)上的“U”型槽的底部，可以来回滑动，母液槽(2)位于双衬底槽滑板之上，石墨圆柱穿过底座上的通孔(4.1)和母液槽的通孔(2.2)将其固定在底座上，防止液槽中的母液挥发的盖板(1)盖住母液槽(2)。