[发明专利]微观表面粘附能的测量方法在审
| 申请号： | 201410544810.3 | 申请日： | 2014-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN104266965A | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 屠晨峰 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N19/04 | 分类号： | G01N19/04 |
| 代理公司： | 江苏永衡昭辉律师事务所 32250 | 代理人： | 王斌 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微观表面粘附能的测量方法。利用拉伸仪拉伸已粘附双端固支梁所在的芯片，在梁中引入拉应力，使其结构刚度增加而克服粘附力抬升，直至解粘附。观测拉伸力大小和粘附形貌的对应关系可作为测量和研究表面粘附能的依据。该方法相比传统粘附能测量方法，具有简单、灵活、分辨率高、节省面积、可重复性好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 微观 表面 粘附 测量方法 | ||
【主权项】：
一种微观表面粘附能的测量方法，其特征在于： 一个用于测量的双端固支梁固定于待测试芯片的表面，双端固支梁通过控制工艺参数具有最低的残余应力； 采用应力刚化效应，拉伸已粘附的双固梁结构所在芯片，引入拉应变，使得双端固支梁弹性回复力增加，逐渐克服粘附力使梁抬升，粘附长度减小，直至完全解粘附回复到水平状态； 利用光学方法观测提取双端固支梁在应力变化整个过程中的参数变化，通过粘附能计算公式计算粘附能。
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