[发明专利]一种激光损伤阈值标定方法

摘要

本发明涉及一种激光损伤阈值标定方法，包括：在三波长高反射薄膜镀制中，由三种尺寸SiO₂颗粒结合吸收性金属Hf膜层制备均匀分布的混合型节瘤缺陷；利用此类节瘤缺陷尺寸大、粒径和空间分布均匀、激光损伤特性一致性好的优点，在光栅扫描激光损伤阈值测试中以此类节瘤缺陷为标准样品，统计性测量一定面积内90%节瘤缺陷喷溅时的损伤阈值；对不同激光损伤阈值测试系统的测量结果进行最小二乘法拟合，拟合直线的斜率和截距为激光损伤阈值标定参数。与现有技术相比，本发明具有判定简单准确等优点。

主权项

一种激光损伤阈值标定方法，其特征在于，所述的标定方法具体包括以下步骤：（1）在三块光学基板上分别均匀旋涂三种尺寸SiO₂颗粒，直径为d₁、d₂和d₃；(2）将步骤(1)所得的三块光学基板分别放入电子束蒸发式镀膜机内，在SiO₂颗粒上镀制一层金属Hf薄膜，厚度为d；(3)利用电子束蒸发式镀膜机镀制厚度为D的三波长高反射薄膜，获得三块标准光学样品；(4)采用两套激光损伤阈值测试系统，分别对三块光学样品进行激光损伤阈值测试，在第一套激光损伤阈值测试系统上，采用光栅扫描方式对三块光学样品进行激光损伤阈值测试，测得激光损伤阈值X₁、X₂和X₃；在第二套激光损伤阈值测试系统上，采用光栅扫描方式对三块光学样品进行激光损伤阈值测试，测得激光损伤阈值Y₁、Y₂和Y₃；(5)对三块光学样品在步骤(4)所述的不同激光损伤阈值测试系统中的损伤阈值进行最小二乘法拟合，以第一套激光损伤阈值测试系统的激光损伤阈值X₁、X₂和X₃为横坐标，第二套激光损伤阈值测试系统的激光损伤阈值Y₁、Y₂和Y₃为纵坐标，获得拟合公式Y=a×X+b，即a和b分别为第一套激光损伤阈值测试系统、第二套激光损伤阈值测试系统的激光损伤阈值标定参数。