[发明专利]高硬度、低应力的多元复合类金刚石涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201410528262.5 | 申请日： | 2014-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN104294230B | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 李晓伟;汪爱英;张栋;柯培玲;许辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/46;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司11327 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高硬度、低应力的多元复合类金刚石涂层。该涂层由类金刚石、第一掺杂元素Al或Cu以及第二掺杂元素Cr或W组成，并且，在该多元复合类金刚石涂层中，第一掺杂元素、第二掺杂元素的原子百分含量分别为1.56％～4.69％。实验证实，该共掺杂的类金刚石涂层兼具高硬度与低应力，同时还具有低的摩擦系数和磨损率、良好韧性和耐蚀性，以及高膜基结合力，因此是一种综合性能良好的多功能涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 硬度 应力 多元 复合 金刚石 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
高硬度、低应力的多元复合类金刚石涂层，其特征在于：位于基体表面，由类金刚石、第一掺杂元素以及第二掺杂元素组成，所述的第一掺杂元素为Al元素或Cu元素，第二掺杂元素为与C原子结合时形成弱的非键特征的Cr元素或W元素，其与C原子结合时形成了弱的非键特征；并且，在所述的多元复合类金刚石涂层中，第一掺杂元素的原子百分比含量为1.56％～4.69％，第二掺杂元素的原子百分比含量为1.56％～4.69％，所述的多元复合类金刚石涂层的应力值为0.06～0.25GPa，硬度值为20～30GPa。
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