[发明专利]涂液观察方法、涂布方法、涂液观察装置及涂布装置

摘要

本发明提供能容易地对涂布于载膜的涂液的积液形状线、涂布缺陷进行检测的涂液观察方法、涂布方法、涂液观察装置及涂布装置。将从涂布头(12)喷射出的浆料(S)连续涂布于由传送辊(18、20)进行传送的载膜(F)的一个主面。另一方面，从载膜(F)的另一主面侧向涂布于载膜(F)的浆料(S)照射从照射装置(34、36)所发出的红外线。利用摄像机(32)来对因浆料(S)而散射的红外线散射光进行拍摄。基于从摄像机(32)输出的图像数据来对浆料(S)的涂布状态进行观察。另外，根据所观察到的涂布状态来对浆料(S)的提供量、载膜(F)的张力等涂布设定进行变更。

主权项

一种涂液观察方法，其特征在于，包括：涂膜形成工序，在该涂膜形成工序中，通过对支承体连续涂布包含粒子的涂液来形成涂膜；照射工序，在该照射工序中，对涂布于所述支承体的所述涂液照射从红外线照明所发出的红外线；拍摄工序，在该拍摄工序中，利用摄像机来拍摄因对所涂布的所述涂液照射所述红外线而散射的红外线散射光，并获取基于红外线散热光的图像数据；以及涂布状态掌握工序，在该涂布状态掌握工序中，基于由所述拍摄工序所获取的图像数据的对比度，来掌握所涂布的所述涂液的涂布状态，检测未贯穿涂膜的厚度方向的缺陷形状。