[发明专利]全氟烷基磺酰氧基苄基杂环缓蚀剂及其制备方法

摘要

本发明公开了一类全氟烷基磺酰氧基苄基杂环缓蚀剂及其制备方法及应用。该类含氟缓蚀剂的结构通式如式Ⅰ所示其中，Rf为全氟丁基或全氟己基，R为杂环基团，包括三氮唑、苯并三氮唑、巯苯并噻唑、苯并咪唑、巯基苯并咪唑、咪唑、2‑甲基咪唑、1,4‑二甲基咪唑等。以全氟丁基磺酰氟、全氟己基磺酰氟为含氟前体材料，经过与对羟基苯甲醇进行磺酸酯化、与卤代试剂进行氯代、与杂环化合物反应，得到全氟烷基磺酰氧基苄基杂环缓蚀剂。本发明将含氟基团引入缓蚀剂分子，设计合成的含氟缓蚀剂不含危害环境磷元素，低浓度下就具有良好的缓蚀效果，本发明部分含氟缓蚀剂在5×10‑4M的浓度时就可达到95％以上的缓释效果。

主权项

一类全氟烷基磺酰氧基苄基杂环缓蚀剂，其特征在于结构通式如式Ⅰ所示：其中：Rf为全氟烷基，R为杂环基团；所述的全氟烷基为全氟丁基或全氟己基；所述的杂环基团包括三氮唑、苯并三氮唑、巯基苯并噻唑、苯并咪唑、巯基苯并咪唑、咪唑、2‑甲基咪唑、1,4‑二甲基咪唑。