[发明专利]相变存储器及其制备方法有效
申请号: | 201410504612.4 | 申请日: | 2014-09-26 |
公开(公告)号: | CN104201282B | 公开(公告)日: | 2017-02-15 |
发明(设计)人: | 王玉婵;陈小刚;陈一峰;王月青;宋志棠;刘波 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;H01L27/24 |
代理公司: | 上海光华专利事务所31219 | 代理人: | 李仪萍 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种相变存储器及其制备方法,其中,所述相变存储器至少包括下电极,所述下电极呈阵列式排布;位于所述下电极上的下加热电极;位于多个下加热电极上的相变材料层,所述相变材料层呈条状等间距排布;位于所述下加热电极上方位置的相变材料层上的上电极,所述上电极呈条状等间距排布,且与所述相变材料层相互垂直。本发明的相变存储器通过将整条的相变材料覆盖在多个下加热电极上,从而将各个分立的相变存储单元连接在一起,可以通过控制信号输入完成块擦除,解决了现有相变存储器不能完成块操作的缺陷;同时也可以通过控制信号端和电极进行选择性单元数据擦除,大大提高了数据擦除效率。 | ||
搜索关键词: | 相变 存储器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种相变存储器,其特征在于,所述相变存储器至少包括:下电极,所述下电极呈阵列式排布;位于所述下电极上的下加热电极;位于多个下加热电极上的相变材料层,所述相变材料层呈条状等间距排布;位于所述下加热电极上方位置的相变材料层上的上电极,所述上电极呈条状等间距排布,且与所述相变材料层相互垂直;以及位于所述相变材料层下部两端的用于完成整块数据擦除的大电极,所述上电极还位于所述大电极上方位置的相变材料层上。
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