[发明专利]真空镀膜装置、真空双面镀膜装置及带材的位置调整方法有效
| 申请号： | 201410503657.X | 申请日： | 2014-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN105506553B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 蒯一希 | 申请（专利权）人： | 蒯一希 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 邝圆晖;李雪 |
| 地址： | 610200 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属带材的真空镀膜装置、一种金属带材的真空双面镀膜装置和一种真空镀膜装置中的金属带材的位置调整方法，所述真空镀膜装置包括真空镀膜室，所述真空镀膜室的输入端设有输入端辊筒(11)和输入夹送辊组(13)，所述真空镀膜室的输出端设有输出端辊筒(12)和输出夹送辊组(14)，所述金属带材(100)由所述输入夹送辊组(13)夹持并向前输送，该金属带材经由所述输入端辊筒以及所述输出端辊筒由所述输出夹送辊组夹持并牵引向前，其中，所述输入端辊筒与所述输出端辊筒之间的所述金属带材至少部分地形成为悬链线状态或者近似悬链线状态。本发明的真空镀膜装置能够进行镀膜作业的同时还能防止金属带材在镀膜过程中产生变形缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 金属带材 真空镀膜装置 辊筒 夹送辊 输出端 输入端 真空镀膜室 双面镀膜 位置调整 悬链线 夹持 变形缺陷 镀膜过程 镀膜作业 输出 带材 近似 地形 牵引 | ||
【主权项】：
1.一种金属带材的真空镀膜装置，包括真空镀膜室，其特征在于，所述真空镀膜室的输入端设有输入端辊筒(11)和输入夹送辊组(13)，所述真空镀膜室的输出端设有输出端辊筒(12)和输出夹送辊组(14)，所述金属带材(100)由所述输入夹送辊组(13)夹持并向前输送，该金属带材(100)经由所述输入端辊筒(11)以及所述输出端辊筒(12)由所述输出夹送辊组(14)夹持并牵引向前，其中，通过输入夹送辊组(13)和输出夹送辊组(14)对金属带材(100)的夹持阻尼和夹持牵引力，所述输入端辊筒(11)与所述输出端辊筒(12)之间的所述金属带材(100)至少部分地形成为悬链线状态或者近似悬链线状态。
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