[发明专利]一种长焦深光子筛

摘要

本发明公开了一种长焦深光子筛，实现光子筛较长焦深的方法。该光子筛包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜，所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔，该透光圆孔呈环带状分布，分布原则为rn2＝2nfnλ+n2λ2，其中rn为环带半径，n为圆孔所在环带的环数，最内环为第一环，n∈{1，2，…，Max}，Max为最大环带数；fn为第n环所对应的焦距；λ为波长。其中对应rn上的透光孔的直径为其中dn为透光孔的直径；wn为环带宽度；λ为波长；fn为第n环所对应的焦距；rn为环带半径。本发明突破原有固定焦点设计的思想，在不影响分辨力的情况下，采用光子筛环形分区设计，实现多焦点部分重叠，有效增大焦深，为光子筛直写光刻的实用化奠定基础。

主权项

一种长焦深光子筛，其特征在于：所述的光子筛为透明的玻璃基底，在该透明的玻璃基底上镀不透光金属薄膜，在不透光金属薄膜上内部有多个透光小圆孔，该透光小圆孔呈环带状分布。