[发明专利]一种台面雪崩二极管管芯面积的测量方法

摘要

本发明公开一种台面雪崩二极管管芯面积的测量方法，包含以下步骤：a）将台面雪崩二级管构成反向工作电气回路，并在回路中串联电流表，台面雪崩二极管的两端分别并联电压表与电容表；b）确定台面雪崩二极管的反向击穿电压V_B；c）对台面雪崩二极管施加不同的反向工作电压；d）读取反向工作电压为V_n时的电容值C_n；e）重复步骤c，读取反向工作电压为V_n+1时的电容值C_n+1；f）根据公式计算台面雪崩二极管管芯面积，由于台面雪崩二极管在反向工作状态下，耗尽层势垒电容可用一定面积耗尽层内的电荷增量与反向偏压变化量的比值来表示，所以根据公式就可以进一步计算出台面雪崩二极管管芯的有源层面积，此方法测量准确，能够消除人为因素带来的误差。

主权项

一种台面雪崩二极管管芯面积的测量方法，其特征在于，所述方法包含以下步骤：a）台面雪崩二级管(30)的正极连接电源的负极，台面雪崩二级管(30)的负极连接电源的正极构成电气回路；将电流表(A)串联在电气回路中，在台面雪崩二极管的两端分别并联电压表(V)与电容表(C)；b）对台面雪崩二极管施加反向电压，通过电流表(A)监测台面雪崩二极管在反向工作状态下的电流变化量，确定台面雪崩二极管的反向击穿电压V_B；c）在0～（V_B‑0.5V）的电压范围内，对台面雪崩二极管施加不同的反向工作电压；d）读取反向工作电压为V_n时的电容值C_n；e）重复步骤c)，并且读取反向工作电压为V_n+1时的电容值C_n+1；f）根据公式计算出台面雪崩二极管管芯的有源层面积，式中S为台面雪崩二极管管芯有源层面积，q为电荷，ε_s为半导体介电常数， N_D是轻掺杂的基体浓度。