[发明专利]一种遮蔽盘传输装置及反应腔室

摘要

本发明提供了一种遮蔽盘传输装置及反应腔室，该遮蔽盘传输装置包括遮蔽盘、用于承载遮蔽盘的传送臂和电磁固定器，电磁固定器设置在传送臂的承载遮蔽盘的对应位置处，遮蔽盘采用磁性材料制成，电磁固定器用于在其具有磁性时使位于传送臂上的遮蔽盘被磁化，以实现将遮蔽盘固定在传送臂上；以及在不具有磁性时使位于传送臂上的遮蔽盘未被磁化，以实现传送臂和遮蔽盘未固定。本发明提供的遮蔽盘传输装置，可以解决在传输遮蔽盘的过程中存在遮蔽盘滑落风险的问题，从而可以提高传输的稳定性和可靠性。

主权项

1.一种遮蔽盘传输装置，包括遮蔽盘和用于承载所述遮蔽盘的传送臂，其特征在于，还包括电磁固定器，所述电磁固定器设置在所述传送臂的承载所述遮蔽盘的对应位置处，所述遮蔽盘采用磁性材料制成，所述电磁固定器用于在其具有磁性时使位于所述传送臂上的所述遮蔽盘被磁化，以实现将所述遮蔽盘固定在所述传送臂上；以及在其不具有磁性时使位于所述传送臂上的所述遮蔽盘未被磁化，以实现所述传送臂和所述遮蔽盘未固定。