[发明专利]一种具有调焦及倾斜校正设计的标记及对准方法

摘要

本发明公开了一种具有调焦及倾斜校正设计的标记及对准方法，所述标记包括对准标记和至少一对调焦标记，所述对准标记的中心位于所述任一对调焦标记连线的中点上，任一对所述调焦标记中心对称于所述对准标记的两侧，所述对准标记为十字型标记或者米字型标记，所述调焦标记为方块型调焦标记或光栅型调焦标记，所述对准标记的线宽大于离散化粒度，所述对准标记的线宽大于两倍PSF宽度，本发明还提供了应用于所述标记的对准方法，实现了对准标记的高精度调焦调平。与现有技术相比，本发明提供的标记在调焦的同时消除了倾斜对标记的影响，提高了测量复现性；此外，分析了畸变对测量复现性的影响机理，并给出了对标记宽度的限定条件，进一步地提高了测量复现性。

主权项

一种对准方法，其特征在于，所述对准方法包括以下步骤：(1)在工件上设置一种具有调焦及倾斜校正设计的标记，所述具有调焦及倾斜校正设计的标记包括对准标记和至少一对调焦标记，所述对准标记的中心位于任一对所述调焦标记连线的中点上，对准系统初步对准工件上所述具有调焦及倾斜校正设计的标记；(2)以预定步距垂向移动工件台，根据焦面判据及其最佳焦面确定方法获得各对调焦标记的最佳焦面位置{Pi,Qi}，其中，Pi和Qi为第i对调焦标记的位置，其中i≥3；(3)根据各对调焦标记的最佳焦面位置{Pi,Qi}获得所述对准标记的最佳焦面位置的原始值Mi及其倾斜的原始值Ti，其中，Mi=Pi+Qi2,Ti=arctan(Pi-QiDis(Pi,Qi));]]>(4)根据所述对准标记的最佳焦面位置的原始值Mi及其倾斜的原始值Ti通过均值滤波或者中值滤波方法确定视场内所述工件的最佳焦面位置M及其倾斜T；(5)根据所述工件的最佳焦面位置的M及其倾斜T垂向运动工件台以补偿多个所述对准标记中需补偿的所述对准标记的垂向位置。