[发明专利]一种日志文件查询系统及查询方法

摘要

本发明公开了一种日志文件查询系统及查询方法，属于半导体生产工艺管控技术领域；包括通信单元，输入单元，第一查询单元，第二查询单元，以及输出单元；通过通信单元与半导体生产设备进行交互通信，输入单元用于获取输入的关键字信息，第一查询单元通过第一关键字信息锁定需要查询的日志文件的大致范围，第二查询单元通过第二关键字信息对包括在查询范围内的日志文件进行匹配，并根据匹配结果提取所有相关联的日志文件，随后显示这些日志文件供使用者查看。上述技术方案的有益效果是：大幅缩短查询日志的时间，节省人力资源；提高查询的准确性；缩短出现问题的半导体生产设备的生产等待时间，提升半导体生产工艺的生产效率。

主权项

1.一种日志文件查询系统，适用于半导体生产工艺中的设备自动化系统中；其特征在于，连接外部的多个半导体生产设备，所述半导体生产设备用于保存记载晶圆片的生产事件的日志文件，每个所述日志文件中包括对应的头文件信息；所述日志文件查询系统包括：通信单元，所述日志文件查询系统通过所述通信单元与多个所述半导体生产设备进行交互通信；输入单元，供使用者输入关键字信息；第一查询单元，分别连接所述输入单元和所述通信单元，用于根据所述关键字信息锁定保存于所述半导体生产设备中的所述日志文件；第二查询单元，分别连接所述第一查询单元、所述输入单元和所述通信单元，用以将所述关键字信息与被锁定的所述日志文件的头文件信息进行匹配，以及查询并提取保存于所述半导体生产设备中的所有所述头文件信息中包括匹配成功的所述关键字信息的日志文件；输出单元，连接所述第二查询单元，用于输出所述第二查询单元提取的所述日志文件。