[发明专利]具有单驱动模式的多感测轴MEMS陀螺仪

摘要

本发明涉及具有单驱动模式的多感测轴MEMS陀螺仪。陀螺仪包括沿着第一轴被驱动进入第一驱动运动的第一驱动块，所述第一驱动运动响应于陀螺仪的旋转而生成了第一感测块的第一感测运动。所述陀螺仪还包括沿着横向于所述第一轴的第二轴被驱动进入第二驱动运动的第二驱动块。所述第二驱动运动响应于陀螺仪的旋转而生成了第二感测块的第二感测运动。驱动弹簧系统将所述两个驱动块互连以耦合第一驱动运动和第二驱动运动，使得可以实现单驱动模式。每个感测块的感测运动沿着第三轴，其中所述第三轴横向于其它轴。所述感测运动是平移运动，使得所述感测块保持平行于所述衬底的所述表面。

主权项

1.一种MEMS陀螺仪，包括：第一驱动块，所述第一驱动块被配置成沿着第一轴被驱动进入第一驱动运动；第二驱动块，所述第二驱动块被配置成沿着横向于所述第一轴的第二轴被驱动进入第二驱动运动，所述第一轴和第二轴中的每个平行于衬底的表面；驱动弹簧系统，所述驱动弹簧系统将所述第一驱动块与所述第二驱动块互连以将所述第一驱动运动耦合到所述第二驱动运动；第一感测块，所述第一感测块耦合到所述第一驱动块，使得所述第一驱动运动响应于所述MEMS陀螺仪的旋转而沿着第三轴生成所述第一感测块的第一感测运动，所述第三轴横向于所述第一轴和第二轴中的每个，所述第一感测运动是平移运动，使得所述第一感测块的第一平坦表面保持基本上平行于所述衬底的所述表面；以及第二感测块，所述第二感测块耦合到所述第二驱动块，使得所述第二驱动运动响应于所述MEMS陀螺仪的旋转而沿着所述第三轴生成所述第二感测块的第二感测运动，所述第二感测运动是平移运动，使得所述第一感测块的第二平坦表面保持基本上平行于所述衬底的所述表面；其中所述驱动弹簧系统包括：第一弹簧元件，所述第一弹簧元件耦合到所述第一驱动块和所述第二驱动块中的每个；锚元件，所述锚元件耦合到所述衬底；第二弹簧元件，所述第二弹簧元件互连在所述第一驱动块和所述锚元件之间；以及第三弹簧元件，所述第三弹簧元件互连在所述第二驱动块和所述锚元件之间；其中所述第一弹簧元件不需要与所述第二弹簧元件和所述第三弹簧元件互连。