[发明专利]一种硅片在线称重控制系统及其控制方法

摘要

本发明公开了一种硅片在线称重控制系统，包括用于对硅片进行工艺处理的工艺设备，工艺设备的两端设有与其对接的进料称重系统和出料称重系统，进、出料称重系统和工艺设备均与中央处理系统连接；中央处理系统控制进、出料称重系统对硅片进行称重和传送，记录进、出料称重系统反馈的重量数据并计算得出硅片工艺处理前后的减重量，然后将计算出的减重量与标准减重量对比判断异常，根据判断结果对工艺设备的工艺参数进行调整。本发明还提供了一种上述硅片在线称重控制系统的控制方法。本发明能实现自动在线检测处理前后的硅片重量、通过中央处理控制系统自动对比分析并调整工艺参数，提高硅片的生产质量和生产效率。

主权项

一种硅片在线称重控制系统，包括：用于对硅片进行工艺处理的工艺设备和中央处理装置，其特征在于，所述工艺设备的两端设有与其对接的进料称重系统和出料称重系统，所述进、出料称重系统均与中央处理装置连接；所述进料称重系统及出料称重系统均包括：依次对接设置的用于硅片上料及对齐的对齐装置、用于硅片称重的称重装置、用于将称重完成后的硅片平稳传递到下一工艺设备的过渡装置；所述中央处理装置控制进、出料称重系统对硅片进行称重和传送，记录进、出料称重系统反馈的重量数据并计算得出硅片工艺处理前后的减重量，然后将计算出的减重量与标准减重量对比判断是否异常，根据判断结果对工艺设备的工艺参数进行调整；所述对齐装置包括：至少一组对齐传输通道，所述对齐传输通道设有：支架，平行设于支架上用于运送硅片的两对齐运送皮带，用于驱动所述两对齐运送皮带运动的对齐电机，分别设于对齐运送皮带首尾两端的第一、二检测开关，每组对齐传输通道内的第二检测开关处于同一位置且设有独立的对齐电机；所述称重装置包括：与对齐传输通道数量配合的称重传输通道，所述称重传输通道设有：中间设有通孔且可升降的托放平台，平行设于托放平台上用于运送硅片的两称重运送皮带，用于驱动所述两称重运送皮带的称重电机，固定伸出通孔且低于称重运送皮带顶面的称重传感器，与称重传感器相邻设于托放平台上的第三检测开关，设于托放平台底面的气缸，设于托放平台外侧的第四检测开关；第四检测开关设有上下两个检测位置；所述过渡装置包括：与对齐传输通道数量配合的过渡传输通道，所述过渡传输通道包括：支架、平行设于支架上用于运送硅片的两过渡运送皮带、用于驱动所述两过渡运送皮带运动的可调速过渡电机、设于过渡运送皮带尾端的第五检测开关；第一、二检测开关控制对齐电机的开关状态，第三检测开关控制称重电机的开关状态，第三检测开关和第四检测开关共同控制气缸的开关状态，第五检测开关控制过渡电机的开关状态，第二检测开关、第三检测开关和第五检测开关均与中央处理装置连接。