[发明专利]一种阴极电弧蒸发源靶座在审
| 申请号： | 201410422215.2 | 申请日： | 2014-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN105369203A | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 闫少健;韩滨;付德春 | 申请（专利权）人： | 宜昌后皇真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 姜荣华 |
| 地址： | 443500 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于电弧蒸发源技术领域，具体涉及一种方便靶材安装拆卸的阴极电弧蒸发源靶座。一种阴极电弧蒸发源靶座包括由铜制成的靶座，靶座内部设有空腔，在靶座侧表面下端设有螺纹、其上表面中心设有中心螺纹孔。本发明优点在于，可使用厚度较薄的靶材，靶材安装、拆卸更方便，冷却效果好，生产效率大幅度提高，节约了镀层材料，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 电弧 蒸发 源靶座 | ||
【主权项】：
一种阴极电弧蒸发源靶座，其特征在于：所述靶座包括由铜制成的靶座(1)，靶座(1)内部设有空腔(4)，在靶座(1)侧表面下端设有螺纹(2)、其上表面中心设有中心螺纹孔(3)。
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