[发明专利]一种氧化物纳米粒子掺杂的WO3气敏涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种氧化物纳米粒子掺杂的WO3气敏涂层的制备方法，以氧化物纳米粒子掺杂的WCl6溶液作为喷涂原料，经热喷涂工艺，将喷涂原料喷涂沉积到基体上，得到氧化物纳米粒子掺杂的WO3的晶粒尺寸为10～50nm的气敏涂层；所述的氧化物纳米粒子与WCl6的质量比为15～100。本发明提供一种氧化物纳米粒子掺杂的WO3气敏涂层的制备方法，具有操作简单、工艺流程少、成本低、适合工业化生产等优点。制备得到的气敏涂层，其厚度范围为200nm～1μm，且具备多孔结构，气敏涂层中WO3的晶粒尺寸为10～50nm，能满足气敏传感器领域中对WO3涂层高比表面积的要求，利于涂层在气敏传感器领域的应用。

主权项

一种氧化物纳米粒子掺杂的WO3气敏涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：以氧化物纳米粒子掺杂的WCl6溶液作为喷涂原料，经热喷涂工艺，将喷涂原料喷涂沉积到基体上，得到氧化物纳米粒子掺杂的WO3的晶粒尺寸为10～50nm的气敏涂层；所述氧化物纳米粒子与WCl6的质量比为1:5～100；所述的氧化物纳米粒子为三氧化二铝纳米粒子或二氧化钛纳米粒子，三氧化二铝纳米粒子的粒径为20～60nm，二氧化钛纳米粒子的粒径为5～30nm。