[发明专利]两种气体独立均匀喷气喷淋装置

摘要

两种气体独立均匀喷气喷淋装置，主要解决现有技术存在的加工成本高及容易出现废品等问题。它包括双通道进气板、扩散挡板、匀气环及喷淋孔板。其结构是将扩散挡板焊接在双通道进气板的中心处，上述扩散板与双通道进气板构成第一个部分。将匀气环与喷淋孔板焊接在一起，构成第二个部分。将焊接后的两个部分钎焊在一起，形成空腔。所述双通道进气板上设置进气口A、进气口B，进气口A与两个部分形成的空腔相通，进气口B与双通道进气板的矩形槽相通。本发明采用少量部件焊接的形式，并且，双独立通道结构建立在单个零件中，实现了两种气体相互隔离喷淋功能，缩短了喷淋装置的加工周期，降低了加工成本和废品率，使喷淋装置的可靠性得以保证。本发明属于半导体薄膜沉积应用及制造技术领域。

主权项

两种气体独立均匀喷气喷淋装置，其特征在于：该装置包括双通道进气板、扩散挡板、匀气环、喷淋孔板四个部分，将扩散挡板焊接在双通道进气板的中心处，上述扩散板与双通道进气板构成第一个部分，将匀气环与喷淋孔板焊接在一起，使匀气环内侧壁的沟槽与喷淋孔板的夹层相通，上述匀气环与喷淋孔板构成第二个部分，将焊接后的两个部分钎焊在一起，形成空腔，使匀气环设有均布的若干半通孔与双通道进气板设有的矩形槽相通，所述喷淋装置内部设有相互隔离的两个气体通道，双通道进气板上设置进气口A、进气口B，进气口A与两个部分形成的空腔相通，进气口B与双通道进气板的矩形槽相通。