[发明专利]一种核壳结构合金纳米颗粒的制备方法

摘要

本发明公开了一种核壳型合金纳米颗粒的制备方法。该方法包括使用有机硅烷偶联剂在氧化物基底表面生长出自组装单分子层。随后在生长有自组装单分子层的基底表面通过原子层沉积生长一种金属核心，接着在金属核心上通过原子层沉积选择性地生长另一种包覆核心的金属壳层。该方法可以通过调节原子层沉积的生长循环次数控制核心尺寸与壳层厚度，以及核与壳的合金成分比例。按照本发明使用的基底改性方法实现核壳结构合金颗粒的制备，由于采用了原子层沉积的工艺，因此对于生长的核壳结构合金颗粒能够达到纳米级的可控性。并且基于基底改性的方法对原子层沉积的工艺要求较小，能够推广到更多的二元合金纳米颗粒的核壳结构的构建。

主权项

一种核壳结构合金纳米颗粒的制备方法，该方法包括如下步骤：利用有机硅烷偶联剂在氧化物基底表面生长出自组装单分子层，该自组装单分子层具有未被有机硅烷覆盖的活性位点；采用原子层沉积在所述自组装单分子层的活性位点上沉积金属核心，获得分布均匀的金属核心；采用原子层沉积在所述金属核心上包覆生长金属的壳层；所述原子层沉积中载气为氮气。