[发明专利]一种CCD器件量子效率测量装置及方法

摘要

本发明提供一种CCD器件量子效率测量装置及方法，其中装置包括CCD器件绝对量子效率测量装置及CCD器件相对量子效率测量装置；所述CCD器件绝对量子效率测量装置，用于测量CCD器件在632.8nm波长点上绝对量子效率；所述CCD器件相对量子效率测量装置，用于测量CCD器件在300nm～1100nm波长范围内的相对量子效率。本发明采用632.8nm激光器将光经过稳功率系统后打入到积分球内部进行绝对定标，而且可根据不同CCD器件选用不同输出功率的激光器，就没有光功率较小的问题，也没有光损失，并且标准探测器在632.8nm波长点上是直接溯源到低温辐射计，这样就减少中间环节，提高了测量不确定度。

主权项

一种CCD器件量子效率测量装置，其特征在于，包括CCD器件绝对量子效率测量装置及CCD器件相对量子效率测量装置；所述CCD器件绝对量子效率测量装置，用于测量CCD器件632.8nm波长点上绝对量子效率；所述CCD器件相对量子效率测量装置，用于测量CCD器件300nm～1100nm波长范围内的相对量子效率；所述CCD器件绝对量子效率测量装置由激光器、稳功率系统、连续光衰减片依次连接后与积分球相连接，所述激光器用于产生632.8nm波长的光源；所述稳功率系统用于对光起到稳定的效果，所述连续光衰减片用于对光进行衰减使CCD器件接收的光在积分球的线性范围内；所述积分球还分别与光波长计及屏蔽室相连接，所述光波长计用于对积分球输出的光进行测量；所述屏蔽室用于对杂散光进行屏蔽，避免杂散光对测量的影响，所述光波长计还设置与控制系统相连接，所述控制系统用于对所述光波长计测量的波长进行读取；所述CCD器件、标准探测器与数据采集系统连接后再与所述控制系统相连接，所述数据采集系统用于对CCD信号的采集和标准探测器信号的采集；三维精密位移台与所述控制系统相连，所述控制系统用于对所述三维精密位移台进行位置调整，使所述CCD器件及所述标准探测器位于最佳位置。