[发明专利]一种光致电离等离子体发生器在审
| 申请号： | 201410391853.2 | 申请日： | 2014-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN104144553A | 公开（公告）日： | 2014-11-12 |
| 发明（设计）人： | 林麒;李晓乐;刘汝兵;杨欢;江沆松 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种光致电离等离子体发生器，涉及一种等离子体发生器。设有光致电离等离子体腔和紫外光源；所述紫外光源置于光致电离等离子体腔内，或紧靠光致电离等离子体腔，以提高光致电离的效果，所述光致电离等离子体腔为密闭腔体，密闭腔体内充有混合气体。所述混合气体可采用He、Ar、Ne等惰性气体中的至少两种。所述光致电离等离子体腔可采用对紫外线有高透射率的材料制作。所述紫外光源可采用激光光源、紫外汞灯光源、紫外线金属卤化物灯光源、氙灯光源等中的一种。可提供稳定、高密度、大体积的等离子体；工作可靠、耗能少、维护方便且费用低、使用周期长、造价低廉；可根据需要通过电开关迅速让等离子体产生或消失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 致电 等离子体 发生器 | ||
【主权项】：
一种光致电离等离子体发生器，其特征在于设有光致电离等离子体腔和紫外光源；所述紫外光源置于光致电离等离子体腔内，或紧靠光致电离等离子体腔，所述光致电离等离子体腔为密闭腔体，密闭腔体内充有混合气体，紫外光源两端的电极分别与高压交流电源的两输出端电连接。
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