[发明专利]一种微型半球非晶合金谐振器及其制备方法有效
| 申请号： | 201410390492.X | 申请日： | 2014-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN104390636B | 公开（公告）日： | 2017-08-01 |
| 发明（设计）人： | 张卫平;邢亚亮;唐健;刘亚东;汪濙海;成宇翔;孙殿竣;陈文元 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01C19/5691 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司31236 | 代理人： | 徐红银,郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微型半球非晶合金谐振器及其制备方法，包括一个长方形基底，基底中心部分为一个圆柱形空腔，圆柱形腔正上方是一个半球谐振体，半球谐振体从下到上依次为玻璃层、离散电极层、绝缘层和非晶合金层；半球谐振体的四周边缘平行地键合在基体的上表面，且半球谐振体的边缘有两层梯状以引出电极线本发明中所述半球谐振体的四周边缘键合在基底上有着很好的稳定性和抗冲击能力；所述半球谐振体含有非晶合金材料，具有优异的材料特性。本发明具有工艺步骤简洁，采用常用的成熟微机械加工方法，具有高度对称性，因而可以达到很高的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 半球 合金 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种微型半球非晶合金谐振器，其特征在于，包括：一个具有上表面的长方形基底；一个位于基底中心部分的圆柱形空腔；一个位于圆柱形空腔正上方的半球谐振体；其中：所述半球谐振体的四周边缘平行地键合在基底的上表面，且所述半球谐振体的边缘有两层梯状以引出电极线；所述半球谐振体有四层，从下到上依次为：玻璃层、离散电极层、绝缘层和非晶合金层，其中：所述玻璃层与所述离散电极层构成一个整体的第一半球形泡，所述非晶合金层构成第二半球形泡，所述第一半球形泡与所述第二半球形泡通过边缘键合，所述第二半球形泡比所述第一半球形泡半径大故在所述第一半球形泡与所述第二半球形泡之间留有间隙。
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