[发明专利]形变检查器在审
| 申请号： | 201410388344.4 | 申请日： | 2014-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN104833313A | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 坂下隆一;本田梅彦;高田朋海;余治雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社路开欧 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16;G01N21/23 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 毛立群;姜甜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种具备用于使相当于检偏器的偏光板旋转的驱动机构，并且检查者不用手动使其旋转就能进行检查的形变检查器。形变检查器（100）具备：摄影机（140）、第二偏光板（141）、1/4波长板（142）、第一偏光板（143）、漫射板（144）、光源（145）、用于使第二偏光板以任意的角度阶梯地旋转的驱动机构。摄影机（140）、第二偏光板（141）、1/4波长板（142）、第一偏光板（143）、漫射板（144）以及光源（145）被配设于相同的轴（检查轴）上，通过驱动机构使相当于检偏器的第二偏光板（141）自动地旋转，来测定相位差、光轴方位。 | ||
| 搜索关键词： | 形变 检查 | ||
【主权项】：
一种形变检查器，检查透光的物体的内部存在的形变，其特征在于，该检查器具备：光源；漫射板，接近或紧贴所述光源来设置；第一偏光板，接近或紧贴所述漫射板的与所述光源侧相反的一侧的面来设置；1/4波长板，接近或紧贴所述第一偏光板的与所述漫射板侧相反的一侧的面，并相对所述第一偏光板的偏光轴将轴方向错开45度来设置；第二偏光板，与所述1/4波长板隔开任意的距离且面对面地设置，并且在与所述1/4波长板之间形成检查区域；摄影装置，接近所述第二偏光板的与所述1/4波长板侧相反的一侧来设置；以及驱动机构，用于使所述第二偏光板以任意的角度阶梯地或连续地旋转。
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