[发明专利]基于原子力显微镜在薄壁微小球面加工微纳米结构的五轴加工装置及方法无效
| 申请号： | 201410385541.0 | 申请日： | 2014-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN104140077A | 公开（公告）日： | 2014-11-12 |
| 发明（设计）人： | 闫永达;赵学森;耿延泉;于博文;胡振江 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于原子力显微镜在薄壁微小球面加工微纳米结构的五轴加工装置及方法。所述装置包括AFM、二维微调心机构、精密气浮轴系、二维高精度定位平台和带动AFM进行转动的电动旋转台，二维微调心机构与精密气浮轴系的上端连接，精密气浮轴系的下端与二维高精度定位平台连接，二维高精度定位平台底座固连在AFM的样品台上，电动旋转台与AFM相连接。本发明利用原子力显微镜AFM的加工的优势，并且改善了在薄壁微球表面加工范围受限的问题，实现了基于AFM在薄壁微小球面加工微纳米结构。本发明加工方法简单，无需复杂的加工系统，操作简单，并且可以在薄壁微球表面上得到精度达到纳米量级的微纳米结构。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 原子 显微镜 薄壁 微小 球面 加工 纳米 结构 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基于原子力显微镜在薄壁微小球面加工微纳米结构的五轴加工装置，其特征在于所述装置包括AFM、二维微调心机构、精密气浮轴系、二维高精度定位平台和带动AFM进行转动的电动旋转台，二维微调心机构与精密气浮轴系的上端连接，精密气浮轴系的下端与二维高精度定位平台连接，二维高精度定位平台底座固连在AFM的样品台上，电动旋转台与AFM相连接。
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