[发明专利]一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的装置及方法有效
| 申请号： | 201410385534.0 | 申请日： | 2014-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN104140076A | 公开（公告）日： | 2014-11-12 |
| 发明（设计）人： | 闫永达;于博文;耿延泉;胡振江;赵学森 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的装置及方法。所述装置包括AFM、手动二维调整台、精密主轴及二维高精度定位平台，其中：手动调整二维台的底部与精密主轴的上端连接，精密主轴的下端与二维高精度定位平台连接，二维高精度定位平台固连在AFM的样品台上。本发明利用原子力显微镜AFM的加工的优势，并且改善了由于AFM探针几何形状不完全对称对加工结果有所影响的问题，实现了AFM探针同方向加工刻划的方法。本发明加工方法简单，无需复杂的加工系统，操作简单，并且可以得到精度达到纳米量级的微纳米结构。本发明实现了AFM探针同方向纳米刻划加工，该方法获得了加工结构深度、加工质量一致性好的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 afm 探针 相同 刻划 方向 机械 加工 复杂 纳米 结构 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的装置，其特征在于所述装置包括AFM、手动二维调整台、精密主轴及二维高精度定位平台，其中：手动调整二维台的底部与精密主轴的上端连接，精密主轴的下端与二维高精度定位平台连接，二维高精度定位平台底座固连在AFM的样品台上。
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