[发明专利]升华纯化装置无效
| 申请号： | 201410381969.8 | 申请日： | 2014-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN104383712A | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 金大勋;金时龙;朴正桓;朴范圭;朴成浩 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
| 主分类号： | B01D7/00 | 分类号： | B01D7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 升华纯化装置。提供了一种升华纯化装置，所述装置包括：腔室，用于执行升华纯化过程以从升华成气态的源材料中产生提纯材料；真空泵，用于将包含杂质的气体移出腔室；连接管，用于将泵连接至腔室；以及杂质收集单元，安装在连接管之内，其中杂质重结晶并沉积在杂质收集单元中。 | ||
| 搜索关键词： | 升华 纯化 装置 | ||
【主权项】：
—种升华纯化装置，所述装置包括：腔室，用于执行升华纯化过程以从升华成气态的源材料中产生提纯材料；真空泵，用于将包含杂质的气体移出腔室；连接管，用于将泵连接至腔室；以及杂质收集单元，安装在连接管之内，其中杂质重结晶并沉积在杂质收集单元中。
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