[发明专利]感光性树脂组合物,感光性元件,光致抗蚀图形的形成方法及印刷电路板的制造方法有效
| 申请号: | 201410381347.5 | 申请日: | 2006-05-22 |
| 公开(公告)号: | CN104111583B | 公开(公告)日: | 2019-01-01 |
| 发明(设计)人: | 宫坂昌宏;熊木尚 | 申请(专利权)人: | 日立化成株式会社 |
| 主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 金鲜英;何杨 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: |
本发明涉及感光性树脂组合物,感光性元件,光致抗蚀图形的形成方法及印刷电路板的制造方法。本发明提供一种感光性树脂组合物,其特征为,含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C1)下述通式(1)所表示的化合物, |
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| 搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 元件 光致抗蚀 图形 形成 方法 印刷 电路板 制造 | ||
【主权项】:
1.一种感光性树脂组合物在用于通过直接绘图曝光法形成光致抗蚀图形中的应用,其特征为,所述感光性树脂组合物含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C1)下述通式(1)所表示的化合物,进一步含有(C2)2,4,5‑三芳基咪唑二聚物或其衍生物,
式(1)中,至少1个R表示异丙基或碳数4~12的烷基,a、b及c的总和为1~6;a、b及c的总和为2~6时,同一分子中的复数的各个R相同或相异,所述(A)成分为含有丙烯酸系聚合物的成分,所述丙烯酸系聚合物具有以来自丙烯酸和/或甲基丙烯酸的单体单元与来自丙烯酸的烷基酯和/或甲基丙烯酸的烷基酯的单体单元作为构成单元,所述(B)成分含有含双酚A骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物。
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