[发明专利]一种微细电解阴极活动模板的制备方法

摘要

本发明公开了一种微细电解阴极活动模板的制备方法，其包括以下步骤：选择光滑平整无裂纹且厚度均匀的金属薄片作为模板基体；对模板基体进行预处理，清洁表面杂质、优化粗糙度轮廓；使用物理气相沉积方法在模板基体表面沉积一层均匀的膜状绝缘层；使用激光微细加工技术依据所需织构图案将带绝缘层金属薄片加工出多个镂空图形。活动模板应用于微细电解加工时，其绝缘面与工件贴合，对工件无需加工部分起保护作用，在工件刻蚀出与镂空图案相仿的织构。在模板表面均匀沉积的绝缘层与基底的结合力更强，使模板重复使用率高；绝缘层更薄，缩小阴阳极的距离，改善流场，增强传质，提高电解加工定域性，可刻蚀出更微细的图案，具有纳尺度织构加工潜力。

主权项

一种微细电解阴极活动模板的制备方法，所述微细电解阴极活动模板用于加工表面微织构，其特征在于，所述微细电解阴极活动模板的制备方法包括以下步骤：S1、选择光滑平整无裂纹且厚度均匀的金属薄片作为模板基体；S2、对作为模板基体的金属薄片进行预处理，清洁金属薄片表面杂质、优化粗糙度轮廓；S3、使用物理气相沉积方法在模板基体表面沉积一层均匀的膜状绝缘层；S4、使用激光微细加工技术依据织构图案将带绝缘层金属薄片加工出镂空图形； S5、重复步骤S4在金属薄片雕刻多个随机排列或规则排列的镂空图形。