[发明专利]真空泵有效
| 申请号： | 201410361083.7 | 申请日： | 2014-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN104343699B | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 米尔科·马科塔;扬·霍夫曼;乌韦·莱布;米夏埃尔·席尔;伯恩哈德·科赫 | 申请（专利权）人： | 普发真空有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 邓云鹏 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及真空泵，一种真空泵，具有泵入口、泵出口、可绕旋转轴旋转的转子、至少一个工艺气体泵级、马达空间和驱动马达，工艺气体泵级用于将泵入口处的工艺气体从泵入口传输到泵出口，驱动马达设置在马达空间中，驱动马达用于转动地驱动转子，并且包括马达定子，提供至少一个用于工艺气体的气体路径，所述气体路径为从所述泵入口到所述泵出口，所述气体路径通过马达空间，并且至少部分地沿所述马达定子或通过马达定子。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 | ||
【主权项】：
1.一种真空泵，具有泵入口(10)、泵出口(12)、可绕旋转轴(14)旋转的转子(16)、至少一个工艺气体泵级、马达空间(18)和驱动马达(20)，工艺气体泵级用于将所述泵入口(10)处的工艺气体从所述泵入口(10)传输到所述泵出口(12)，所述驱动马达(20)设置在所述马达空间(18)中，所述驱动马达(20)用于转动地驱动转子(16)，所述驱动马达(20)包括马达定子(22)，其特征在于，提供至少一个用于工艺气体的气体路径，所述气体路径为从所述泵入口(10)到所述泵出口(12)，所述气体路径通过所述马达空间(18)，并且至少部分地沿所述马达定子(22)或通过所述马达定子(22)；提供设置在所述马达定子(22)和所述转子(16)之间的中间空间(24)，所述气体路径通向所述中间空间(24)；其中所述工艺气体传导经过所述中间空间(24)，并且没有与所述转子(16)直接接触。
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