[发明专利]一种基于MEMS的压力传感器

摘要

本发明提供一种基于MEMS的压力传感器，包括基座、下盖、支架、压力敏感芯体、绝缘垫、信号处理电路板、外壳、电连接器、以及引线板。压力敏感芯体采用溅射薄膜应变式原理，其作用是感应被测介质的压力，输出与压力信号变化成比例的电信号；信号处理电路是一种高度集成的传感器信号处理电路，用于给压力敏感芯体供电，同时对压力敏感芯体输出的信号进行放大、校准和温度补偿功能，实现高精度的信号调理；基座和外壳提供与管路的接口，并将压力敏感芯体与信号处理线路板进行封装。本发明的压力传感器为一体化结构，可靠性高，尺寸小，重量轻，适合于微小超高压冷气推进系统高压气瓶压力的精确测量。

主权项

一种基于MEMS的压力传感器，其特征在于，包括基座(1)、下盖(2)、支架(3)、压力敏感芯体(4)、绝缘垫(6)、信号处理电路板(7)、外壳(8)、电连接器(12)、以及引线板(13)，其中，基座(1)具有中空管路(101)，基座(1)的第一端的外周面上设置有外螺纹，用于与待测管路螺纹连接；压力敏感芯体(4)通过焊接的方式套装于基座(1)的第二端上，并且压力敏感芯体(4)的内腔通过基座(1)的中空管路(101)与待测管路连通；基座(1)的外周面还具有台阶部(102)、第一外螺纹部(103)、和第二外螺纹部(104)，下盖(2)螺纹套接在第一外螺纹部(103)上、并且抵接台阶部(102)，支架(3)紧挨着下盖(2)螺纹套接在第二外螺纹部(104)上，并且，支架(3)还部分地套接于压力敏感芯体(4)的外周面上；引线板(13)套装于压力敏感芯体(4)的外周、并通过螺钉(5)固定于支架(3)的远离下盖(2)的第一端面上；信号处理电路板(7)通过绝缘垫(6)支撑于引线板(13)上；外壳(8)为薄壁筒，其第一端为开口端，第二端的端面上具有连通至其内腔的通孔；电连接器(12)安装于外壳(8)第二端端面上的通孔中，电连接器(12)的焊接端伸入外壳(8)的内腔中，并且电连接器(12)通过螺钉固定于外壳(8)第二端的端面上；外壳(8)的开口端焊接至下盖(2)的外壁，并且支架(3)、压力敏感芯体(4)、引线板(13)、绝缘垫(6)、以及信号处理电路(7)均容纳于外壳(8)的内腔中；并且压力敏感芯体(4)通过引线板(13)与信号处理电路板(7)电连接，信号处理电路板(7)进一步与电连接器(12)电连接，电连接器(12)连接至12V的供电电源；压力敏感芯体(4)为在压力的作用下能够产生变形的金属弹性体，其能够将自身感应到的压力信号转换为与压力值成线性关系的标准毫伏级电压信号，并将电压信号通过引线板(13)输出给信号处理电路板(7)；信号处理电路板(7)对接收自压力敏感芯体(4)的电压信号进行放大、校准和温度补偿处理之后，通过电连接器(12)将调理后的电信号输出。