[发明专利]微晶硅薄膜生长过程的可视化观测系统及测量方法

摘要

本发明公开了一种为实时观测微晶硅薄膜生长设计的可视化观测系统及测量方法，有效地改善了传统偏振光显微镜进行观测时分辨率较低的缺陷。一种微晶硅薄膜生长过程的可视化观测系统，包括光源、针孔、起偏器、1/4波片、汇聚透镜、分光棱镜、垂直物镜、样品、载物台、检偏器、CCD相机、计算机。本发明有效地改善了传统薄膜厚度检测方法所面临的扫描问题，实现了薄膜的连续动态检测，提高了检测的效率和精度，分辨率高。此外，本发明提供的观测系统结构简单，方法简便易行，便于推广。

主权项

一种微晶硅薄膜生长过程的可视化观测系统，其特征在于：包括光源、针孔、起偏器、 1/4波片、汇聚透镜、分光棱镜、垂直物镜、样品、载物台、检偏器、CCD相机、计算机，所述汇聚透镜包括第一汇聚透镜、第二汇聚透镜、第三汇聚透镜、第四汇聚透镜，所述第一汇聚透镜、针孔、第二汇聚透镜、起偏器、1/4波片、第三汇聚透镜以及分光棱镜沿光源出射方向依次设置在平行光源的前方，所述光源、第一汇聚透镜、针孔、第二汇聚透镜、起偏器、1/4波片、第三汇聚透镜各光轴重合，所述分光棱镜的分光平面向光源倾斜并且与水平方向成45度，所述针孔位于第一汇聚透镜的前焦平面上，所述第二汇聚透镜设置在针孔前方且与针孔的距离等于第二汇聚透镜的焦距，所述第三汇聚透镜光轴偏离分光棱镜的水平光轴、其前焦平面与垂直物镜后焦平面重合；所述垂直物镜设置在分光棱镜的正下方，载物台设置在垂直物镜的正下方，所述检偏器设置在分光棱镜的正上方，第四汇聚透镜设置在检偏器的正上方， CCD相机水平设置在第四汇聚透镜的正上方，所述CCD相机的光轴、第四汇聚透镜的光轴、分光棱镜的竖直光轴、垂直物镜的光轴重合，所述平行光源、针孔、第一汇聚透镜、第二汇聚透镜、起偏器、1/4波片以及第三汇聚透镜的光轴偏离主光轴，所述第四汇聚透镜的前焦平面和垂直物镜后焦平面重合，所述CCD相机与计算机相连。