[发明专利]压电陶瓷驱动器的高速纳米精度运动控制方法及系统有效
| 申请号： | 201410354111.2 | 申请日： | 2014-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN104122798A | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 谷国迎;朱利民 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G05B13/04 | 分类号： | G05B13/04 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人： | 王毓理;王锡麟 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种运动控制和精密制造技术领域的压电陶瓷驱动器的高速纳米精度运动控制方法及系统，通过首先建立磁滞非线性精确模型H[·]及其逆特性表达式H-1[·]，基于H-1[·]设计前馈控制器以消除压电陶瓷驱动器的磁滞非线性；然后通过系统辨识方法辨识含磁滞补偿的压电陶瓷驱动器系统的线性动力学模型G(s)，并根据G(s)的动力学特性设计用于增大系统增益余量的主动阻尼控制器；最后通过PID控制算法实现高速纳米精度运动控制；本发明能够消除压电陶瓷驱动器的磁滞非线性和谐振振动对系统运动速度和精度的影响，本发明方便实用且能够实现实时控制。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 陶瓷 驱动器 高速 纳米 精度 运动 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种压电陶瓷驱动器的高速纳米精度运动控制方法，其特征在于，通过首先建立磁滞非线性精确模型H[·]及其逆特性表达式H‑1[·]，基于H‑1[·]设计前馈控制器以消除压电陶瓷驱动器的磁滞非线性；然后通过系统辨识方法辨识含磁滞补偿的压电陶瓷驱动器系统的线性动力学模型G(s)，并根据G(s)的动力学特性设计用于增大系统增益余量的主动阻尼控制器；最后通过PID控制算法实现高速纳米精度运动控制；所述的压电陶瓷驱动器为磁滞非线性和线性动力学串联的动态系统。所述的系统辨识方法是指：带有外生变量的自回归模型的最小二乘辨识方法。
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