[发明专利]具备振动装置的晶锭倾翻装置

摘要

本发明涉及具备振动装置的晶锭倾翻装置，涉及在通过将由线切割装置实施切断的晶锭以能够倾翻的方式固定，减少晶锭与金刚石线的摩擦热，使切断面积最小，由此能够增大切断速度，减少切断时间，并且由晶锭的切断所形成的晶片的切断面均匀的具备倾翻功能的晶锭倾翻装置，还包含生成微小振动来提高切断效率并且使金刚石线的损伤最小的振动装置构成的具备振动装置的晶锭倾翻装置。根据本发明，将由线切割装置实施倾翻驱动的同时切断的晶锭，通过振动装置和上下振动单轨道及左右振动单轨道由倾翻装置固定弹簧将振动传递于倾翻装置，使切断晶锭微小地振动，从而通过切断碎片的去除使摩擦热最小，由此改善金刚石线的寿命，精密地形成被切断的晶锭的切断面。

主权项

一种具备振动装置的晶锭倾翻装置，其设置于如下所述的线切割装置上，该线切割装置包括：基底部件；切割用线拉出机构，其设置于上述基底部件的一侧，以相同的张力拉出卷绕在拉出用卷筒上的切割用线；拉出用张力调节机构，其能够自动地调节所拉出的切割用线的张力；升降机构，其设置于上述基底部件的上部，沿前后方向滑动移动且升降；切断机构，其设置于上述升降机构的下部，将所拉出的切割用线按照一定间隔卷绕的同时使其高速移动；切割用线卷绕机构，其将通过上述切断机构而移动的切割用线卷绕于卷绕用卷筒；以及控制部，其控制上述切割用线拉出机构、拉出用张力调节机构、升降机构、切断机构以及切割用线卷绕机构，该具备振动装置的晶锭倾翻装置的特征在于，包含固定或者能够装拆地设置于基底框架(500)的侧端的一个以上的振动发生部(400)而构成，其中，基底框架(500)具备晶锭固定台(510)、晶锭粘接支承板(520)以及对被固定的晶锭实施倾翻驱动的伺服马达(530)，上述基底框架(500)通过一个以上的轴以及紧固螺钉(430)紧固于固定台(420)，并且在紧固螺栓的下端还包含倾翻装置固定弹簧(410)，其中，所述固定台(420)设置于通过升降单轨道(310)使上述基底框架(500)升降的升降机构(300)的下部，上述固定台(420)以通过在上述升降机构(300)的一端具备一个以上的上下振动单轨道(440)来固定振动轴的方式被安置。