[发明专利]振动片、振子、振荡器、电子设备和移动体有效
| 申请号： | 201410344675.8 | 申请日： | 2014-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN104300935B | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 山崎隆;蝦名昭彦;田端强诗;柳泽秀和 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/19 | 分类号： | H03H9/19;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供振动片、振子、振荡器、电子设备和移动体，能够进一步提高压电体的取向性。振动片(1)的特征在于，其具有：基部(10)；从基部(10)延伸的振动臂(11a、11b、11c)；设置在振动臂(11a、11b、11c)上的第1电极(12a1、12b1、12c1)；设置在第1电极(12a1、12b1、12c1)的上方的第2电极(12a2、12b2、12c2)；配置在第1电极(12a1、12b1、12c1)与第2电极(12a2、12b2、12c2)之间的压电体(13)；以及配置在第1电极(12a1、12b1、12c1)与压电体(13)之间的绝缘膜(14)，第1电极(12a1、12b1、12c1)的材料中含有TiN，绝缘膜(14)的材料中含有SiO2，压电体(13)的材料中含有AlN。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 振荡器 电子设备 移动 | ||
【主权项】：
1.一种振动片，其特征在于，该振动片具有：基材，其包含基部和振动臂；含有TiN且配置在所述振动臂上的第1电极；含有TiN且相对于所述第1电极配置在与所述振动臂相反侧的第2电极；含有AlN且配置在所述第1电极与所述第2电极之间的压电体；以及含有SiO2且配置在所述第1电极与所述压电体之间的作为结晶取向调整膜的绝缘膜，所述压电体具有C轴取向性，所述压电体含有AlN时的伸缩性大于所述压电体不含有AlN时的伸缩性。
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