[发明专利]用于聚焦带电粒子束的磁透镜和方法有效
| 申请号： | 201410343248.8 | 申请日： | 2014-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN104299872B | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | O.沙内尔 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/14 | 分类号： | H01J37/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 谢攀,刘春元 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于聚焦带电粒子束的磁透镜。现有技术的带电粒子磁透镜包括轭和空气间隙。该空气间隙限定其中磁场存在于透镜的光轴上的位置。根据本发明，一种用于聚焦沿着光轴行进的带电粒子束的磁透镜包括‑轴向孔，布置在所述光轴周围以容纳所述束；‑磁场生成装置，用于生成磁场；以及‑磁轭，用以引导和集中所述磁场朝向所述光轴以便形成用于所述束的聚焦区域，其中，‑所述轭具有复合结构，包括外部主要部分和内部次要部分；‑所述次要部分被安装为所述主要部分内的单体插件以便被布置在所述聚焦区域周围；‑所述次要部分包括围绕所述孔并充当磁收缩区的腰部区域，其被配置成使得所述磁场在所述腰部区域中经受饱和，从而使磁通量离开所述腰部区域并且在所述聚焦区域中形成聚焦场。此类腰部区域取代了现有技术透镜中的空气间隙的角色。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 聚焦 带电 粒子束 透镜 | ||
【主权项】：
一种用于聚焦沿着光轴行进的带电粒子束的磁透镜，所述透镜包括：‑ 轴向孔，布置在所述光轴周围以容纳所述带电粒子束；‑ 磁场生成装置，用于生成磁场；以及‑ 磁轭，用以引导和集中所述磁场朝向所述光轴以便形成用于所述带电粒子束的聚焦区域，其特征在于：‑ 所述轭具有复合结构，包括外部主要部分和内部次要部分；‑ 所述次要部分被安装为所述主要部分内的单体插件以便被布置在所述聚焦区域周围；‑ 所述次要部分包括围绕所述孔并充当磁收缩区的腰部区域，其被配置成使得所述磁场在所述腰部区域中经受饱和，从而使磁通量离开所述腰部区域并且在所述聚焦区域中形成聚焦场。
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