[发明专利]一种用于非对称结构长条玻璃镜精密加工的粘接定位方法

摘要

本发明公开了一种用于非对称结构长条玻璃镜精密加工的粘接定位方法，内容包括①根据待加工非对称结构长条玻璃零件的结构，确定固定工装的结构；②建立超净工作室和0级大理石精密工作台；③在大理石精密工作台上，工作人员带上手套,用光学玻璃擦拭布蘸上酒精对加工零件进行擦拭；④将待加工零件放置在固定工装上进行测量；⑤用胶将加工零件固定在固定工装上；⑥检测待加工零件粘接精度；⑦加工非对称结构长条玻璃零件；⑧分离加工零件。本发明有效解决了非对称结构长条玻璃零件的加工难题,提高对分步投影光刻机长条镜的精密加工定位精度,所加工的长条镜符合分步投影光刻机高质量要求。

主权项

一种用于非对称结构长条玻璃镜精密加工的粘接定位方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：①根据待加工非对称结构长条玻璃零件的结构，确定固定工装的结构，所述的固定工装是一个具有互相平行的上、下平面的构件，所述的上下平面的平行度≤0.003μm、且该构件的长度大于所述的待加工非对称结构长条玻璃零件的长度，所述的上平面用于固定待加工非对称结构长条玻璃零件，所述的下平面用于固定在加工设备工作台面上；②建立超净工作室和0级大理石精密工作台，在精密工作台上进行待加工非对称结构长条玻璃零件和固定工装的胶合工作；③在精密工作台上，工作人员带上手套,用光学玻璃擦拭布蘸上酒精后对待加工零件的定位面和固定工装的上下平面进行擦拭，仔细观看表面灰尘，直到无人眼可见灰尘，将擦拭好的固定工装水平放置在精密工作台上，其下平面与0级大理石精密工作台面紧密接触；④将待加工零件的定位面摆放在固定工装的上平面上,确保待加工零件定位面与固定工装的上平面重合，用标准测试规进行测量,接触间隙需小于0.005μm；⑤用双组合环氧树脂胶对待加工零件和固定工装接触的四周边进行粘接，具体是：待加工零件和固定工装分为前后两面和左右两侧面，前后两面按照由中央向两侧且前后两面对称交叉的顺序涂胶点，左右两侧面按照斜交叉对称的顺序涂胶点，使待加工零件定位面与固定工装的上平面粘接，所述的涂胶点的直径在2.5～3.5mm之间，且前后两面上相邻的各涂胶点间距控制在50～100mm之间；⑥至少放置60分钟后,用标准测试规进行测量待加工零件定位面与固定工装的上平面间隙：如果接触间隙小于0.005μm，则进行步骤⑦；如果接触间隙大于0.005μm，则用丙酮使涂胶点去除，并返回步骤③；⑦前后两面在第一个涂胶点旁边按照由中央向两侧且前后两面对称交叉的顺序涂胶点，左右两侧面在起始涂胶点旁按照斜交叉对称的顺序涂胶点，使待加工零件定位面与固定工装的上平面粘接，所述的涂胶点的直径在2.5～3.5mm之间；⑧至少放置60分钟后,用标准测试规进行测量待加工零件定位面与固定工装的上平面间隙：如果接触间隙小于0.005μm，则返回步骤⑦，直至根据待加工零件的大小，涂胶次数达到3～6回，待加工零件与固定工装粘接完成；如果接触间隙大于0.005μm，则用丙酮将涂胶点去除，并返回步骤③；⑨将粘接有待加工零件的固定工装移至加工设备处，使固定工装的下平面与加工设备工作台面固定后，对待加工零件进行加工，直至得到合格加工面；⑩用木质或塑料柄棉签涂上丙酮反复擦洗粘接胶点，使待加工零件与固定工装分离，得到合格的加工零件。