[发明专利]压印装置以及物品的制造方法

摘要

本发明提供一种压印装置以及物品的制造方法，所述压印装置通过使用模具将图案形成在基板上的压印材料上，所述压印装置包括：第一光学元件，其被置于照明光学系统和检测光学系统与模具之间，并且被构造为将来自所述照明光学系统的第一光和来自所述检测光学系统的第二光引导到所述模具；以及第二光学元件，其被置于所述第一光学元件与所述检测光学系统之间，并且被构造为透射由形成在所述模具上的标记或形成在所述基板上的标记反射、通过所述第一光学元件向所述检测光学系统行进的所述第二光，并遮断通过所述第一光学元件向所述检测光学系统行进的所述第一光。

主权项

一种压印装置，其通过使用模具将图案形成在基板上的压印材料上，所述压印装置包括：照明光学系统，其被构造为利用用于固化所述压印材料的第一光来照射所述压印材料；检测光学系统，其被构造为利用第二光来照射形成在所述模具上的标记和形成在所述基板上的标记中的至少一个标记，并检测由所述至少一个标记反射的所述第二光；第一光学元件，其被置于所述照明光学系统和所述检测光学系统与所述模具之间，并且被构造为将来自所述照明光学系统的所述第一光和来自所述检测光学系统的所述第二光引导到所述模具；以及第二光学元件，其被置于所述第一光学元件与所述检测光学系统之间，并且被构造为透射由所述至少一个标记反射、并通过所述第一光学元件向所述检测光学系统行进的所述第二光，并遮断通过所述第一光学元件向所述检测光学系统行进的所述第一光。